Brand, Oliver Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)

Das Buch 'Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices' von Oliver Brand ist Teil der Reihe 'Advanced Micro and Nanosystems' und widmet sich der Zuverlässigkeit von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS). Es behandelt die verschiedenen Aspekte der Zuverlässigkeitsprüfung von MEMS-Materialien und -Geräten. Der Fokus liegt auf den Methoden zur Charakterisierung und Bewertung der Lebensdauer sowie der funktionalen Integrität dieser Systeme unter verschiedenen Betriebsbedingungen. Das Buch bietet Einblicke in experimentelle Techniken, Testprotokolle und Analysemethoden, die für Ingenieure und Forscher im Bereich Mikro- und Nanotechnologie von Bedeutung sind. Durch die Kombination theoretischer Grundlagen mit praktischen Beispielen liefert es wertvolle Informationen zur Verbesserung der Leistung und Langlebigkeit von MEMS-Anwendungen.