Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication (The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering)

'The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication' von Stephen A. Campbell ist ein umfassendes Lehrbuch, das sich mit den Prinzipien und Techniken der Herstellung von Mikroelektronik befasst. Es gehört zur Oxford Series in Electrical and Computer Engineering und bietet eine detaillierte Einführung in die Prozesse und Technologien, die in der modernen Halbleiterfertigung eingesetzt werden. Das Buch behandelt eine Vielzahl von Themen, darunter die Grundlagen der Halbleiterphysik, Lithografie, Ätztechniken, Dünnschichtabscheidung und Dotierungstechnologien. Es legt einen besonderen Fokus auf die physikalischen und chemischen Aspekte dieser Prozesse sowie auf deren praktische Anwendungen in der Industrie. Campbell erklärt sowohl traditionelle als auch fortschrittliche Fertigungsmethoden und geht auf aktuelle Entwicklungen im Bereich der Nanotechnologie ein. Durch zahlreiche Illustrationen und Beispiele wird das Verständnis komplexer Konzepte erleichtert. Das Buch richtet sich an Studierende der Elektrotechnik und Ingenieurwissenschaften sowie an Fachleute, die ihr Wissen über Mikroelektronikfertigung vertiefen möchten.