Meißner, Uwe Wutz Handbuch Vakuumtechnik

Das 'Wutz Handbuch Vakuumtechnik' von Uwe Meißner ist ein umfassendes Nachschlagewerk, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen der Vakuumtechnik befasst. Das Buch bietet eine detaillierte Einführung in die physikalischen Prinzipien des Vakuums, beschreibt verschiedene Arten von Vakuumpumpen und Messinstrumenten sowie deren Funktionsweise. Es behandelt auch die praktische Anwendung der Vakuumtechnik in verschiedenen Industriezweigen, wie beispielsweise der Halbleiterfertigung, Oberflächenbehandlung und Forschung. Zudem werden Aspekte wie Dichtungstechnik, Lecksuche und Sicherheitsmaßnahmen thematisiert. Das Handbuch richtet sich sowohl an Ingenieure und Techniker als auch an Studierende, die in diesem Fachgebiet tätig sind oder sich dafür interessieren.