Pohl, Udo W. Epitaxy of Semiconductors: Introduction to Physical Principles (Graduate Texts in Physics)

'Epitaxy of Semiconductors: Introduction to Physical Principles' von Udo W. Pohl bietet eine umfassende Einführung in die physikalischen Grundlagen der Epitaxie, einem essenziellen Prozess in der Halbleitertechnologie. Das Buch richtet sich an Studierende und Forschende im Bereich der Physik und Materialwissenschaften und behandelt die wesentlichen Konzepte und Mechanismen, die das Wachstum von einkristallinen Schichten auf Substraten steuern. Es deckt verschiedene epitaktische Techniken ab, darunter Molekularstrahlepitaxie (MBE) und Metallorganische chemische Gasphasenepitaxie (MOCVD), und erläutert deren Anwendungen in der Herstellung moderner Halbleiterbauelemente. Durch theoretische Erklärungen, mathematische Modelle sowie praktische Beispiele vermittelt das Werk ein tiefes Verständnis für die Wechselwirkungen zwischen den atomaren Prozessen während des Wachstums und den resultierenden strukturellen Eigenschaften der Materialien.